產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)
Hi-Smarc-Ⅲ-PO激光干涉儀
主要功能：測量平面光學(xué)元件的表面面形和透射光學(xué)元件的綜合波前
a) 類型：菲索干涉原理
b) 口徑：φ25.4mm
c) 顯示方式：CCD+顯示器
d) 光源：半導(dǎo)體激光，波長λ=635nm
e) 測量重復(fù)性：PV優(yōu)于λ/50，RMS優(yōu)于λ/100
f) 平面精度：PV（平面上最高點(diǎn)到最低點(diǎn)最大的差異值又稱峰谷值）優(yōu)于λ/20（635nm/20大約32nm），
g) 主機(jī)重量：6.5KG
h) 外形尺寸：260×160×330mm
i) 電源：220V 50HZ
j) 量化測試時(shí)間：大約2～3秒/次
分析系統(tǒng)（軟件及計(jì)算機(jī)）
1、計(jì)算機(jī)：專用計(jì)算機(jī)及10寸以上液晶顯示器
2、輸出數(shù)據(jù)：
峰谷值（PV）、標(biāo)準(zhǔn)偏差（RMS）、二維等值圖（等高圖）、干涉條紋圖；
域值設(shè)定(OK或NG)、數(shù)據(jù)可保存、可輸出打印測試報(bào)告；
開放數(shù)據(jù)輸出格式，方便后續(xù)分析；
3、測量功能
系統(tǒng)在WINDOWS 7或10下運(yùn)行，允許進(jìn)行網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)傳輸；
具有干涉圖亮度的軟件調(diào)節(jié)機(jī)制；
4、 提供移相器校正軟件，用戶可自行修正移相器位移誤差。
5、 提供軟件升級(jí)、維護(hù)、售后技術(shù)支持及使用培訓(xùn)、硬件維修；
